多弧離子鍍膜設(shè)備: 多弧離子鍍膜設(shè)備是一種高效、無害、無污染的離子鍍膜設(shè)備，具有沉積速度快、離化率高、離子能量大、設(shè)備操作簡單、成本低、生產(chǎn)量大的優(yōu)點(diǎn)。 真空電弧離子的原理是基冷陰極自持弧光放電結(jié)合脈沖技術(shù)及磁控濺射技術(shù)，使沉積粒子細(xì)化，膜層的各項(xiàng)性能得以提高。它不僅能在金屬制品表面進(jìn)行鍍膜而且能在非金屬制品表面制品上進(jìn)行鍍膜，可以鍍金屬膜、氮化鈦、碳化鈦、氮化鋯、氮化鉻、及鈦、鎳、鉻、銅、等化合物膜、多層超硬膜、氮化鈦摻金膜和合金膜，并能在極短的時(shí)間內(nèi)完成全部加工工藝過程，是一種多功能高效鍍膜設(shè)備。廣泛應(yīng)用于工具、模具的超硬涂層，汽車輪轂、陶瓷、高爾夫、制表、酒店用品、衛(wèi)生潔具、燈具、眼鏡鏡架、五金制品的裝飾涂層等領(lǐng)域。 型號(hào) 真空室尺寸 | LH-800 | LH-1000 | LH-1250 | ￠800×1000MM | ￠1000×1000MM | ￠1250×1100MM | 鍍膜方式及主要配置 | 八個(gè)多弧靶 | 十個(gè)多弧靶 | 十二個(gè)多弧源 | 鍍膜方式及主要配置 | 電弧電源、燈絲電源、脈沖偏壓電源 | 工藝氣體控制 | 質(zhì)量流量計(jì)+電磁陶瓷閥 | 真空室結(jié)構(gòu) | 立式側(cè)（單）開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷 | 真空系統(tǒng)組成 | 分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵（5.0×10-4PA），擴(kuò)散泵+羅茨泵+機(jī)械泵（5.0×10-4PA） | 工件烘烤溫度 | 常溫到350度可調(diào)可控(PID控溫),輻射加熱 | 工件運(yùn)動(dòng)方式 | 公自轉(zhuǎn)變頻調(diào)速,0~20轉(zhuǎn)/分 | 測量方式 | 數(shù)顯復(fù)合真空計(jì):測量范圍從大氣至1.0×10-5PA | 控制方式 | 手動(dòng)/自動(dòng)/PC/PLC+HMI/PC四種方式可選 | 備注 | 以上設(shè)備可按客戶實(shí)際及特殊工藝要求設(shè)計(jì)訂做 |
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