當工件與研具作高速相對運動時，由于拋光液的流體動壓效應使工件微量浮起與研具脫離接觸，液膜中的微細軟磨料與工件外層表面的原子相互擴散，降低了工件最外層表面的原子結合能，因而能被磨粒粒子沖擊去除，達到光整工件表面而又不致產生表層晶體的錯位。雖其加工效率較低，但是一種可獲得極高的平面度，而又沒有端面塌邊和變形缺陷的高表面質量的超精密加工方法。